9月29日早间，晶瑞股份(300655)公告将购买一台二手光刻机，总价款为1102.5万美元(约为人民币7500万元)。消息发布后，公司股价快速涨停，当天市值暴增13.39亿元。深交所于次日下发关注函，要求公司说明拟购买光刻机设备的具体用途、资金来源，以及拟购买光刻机设备型号等问题。

　　10月12日晚间，晶瑞股份在回复深交所关注函时表示，本次拟购买的光刻机可用于研发最高分辨率为28nm的高端光刻胶，预计将于2021年上半年内完成运输并安装完毕。

　　光刻机预计明年上半年安装完毕

　　晶瑞股份是一家微电子材料的平台型高新技术企业，围绕泛半导体材料和新能源材料两个方向，主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等。其中光刻胶产品由子公司苏州瑞红生产。

　　就在9月29日早间，晶瑞股份公告称，为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，拟通过Singtest Technology PTE。 LTD。进口韩国SK Hynix的ASML光刻机设备，总价款为1102.5万美元。

　　晶瑞股份在10月12日晚间的回复函中称，本次拟购买的光刻机设备将用于公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。

　　资金来源为向不特定对象发行可转换公司债券募集，以及公司自有及自筹资金。回复函显示，晶瑞股份本次拟购买光刻机设备的型号为ASML XT 1900Gi，为ArF 浸入式光刻机，可用于研发最高分辨率为28nm的高端光刻胶，预计将于2021年上半年内完成运输并安装完毕。

　　高端光刻胶研发项目建设期为3年

　　晶瑞股份此前披露公告，拟发行不超5.5亿元可转债，用于集成电路制造用高端光刻胶研发项目、阳恒化工年产9万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目、补充流动资金或偿还银行贷款。其中，集成电路制造用高端光刻胶研发项目建设期为36个月。

　　公司同时表示，作为产业化的光刻胶生产企业， 光刻胶的产品质量检测、过程控制是必不可少的生产环节。为了使产品质量稳定可靠， 并最终得到用户的认可，晶瑞股份的分析/检测设备仪器的精度水平应该与客户端使用的相应主流设备保持一致。公司目前KrF已完成中试处于验证阶段，拟进一步开展ArF等高端光刻胶研发项目，实现公司发展战略。

　　晶瑞股份同时提示风险称，该项目存在因为贸易争端或材料禁运而导致光刻胶关键材料供应不畅以致研发或生产无法开展的风险；公司研发项目经历时间较长，且至产业化并最终实现销售产生利润仍需一定时间，该光刻机设备价格昂贵，其折旧及后续维护费用预计对公司的经营业绩存在一定影响。

（文章来源：e公司）

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