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据网易科技消息，来自Digitimes的最新报道称，台积电为明年扩大生产规模，已经向ASML下定了至少13台EUV光刻机，花费超120亿元人民币。 ASML每年的产能非常有限，EUV光刻机不是有钱就能买，2019年全年才出货了26台，今年上半年出货了13台，截至三季度结束累计才出货23台。
从7nm开始，台积电和三星就开始引入EUV光刻。按照ASML(阿斯麦)的说法，迭代到5nm后，EUV的层数达到了14层。未来的3nm、2nm芯片对EUV的依赖将更甚。
（文章来源：财经网）
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