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?金鸿燃气:公司的高纯一氧化二氮和超纯氨产品已通过中芯国际认证

来源 2020-12-20 15:58:27 国际新闻


  金宏气体公告,公司自主研发的高纯氧化亚氮【高纯氧化亚氮在室温和大气f #.-_卜是无色、不燃、有室息性、麻醉性,九:U-‘ L体,微有甜I相对密度d_(空气1]1.‘297气体。】、超纯氨【超纯氨的分子式是分子式:NH3,超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料,其反应为: 750—850℃ :SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ,850—900℃ :SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。】产品近日成功通过中芯国际集成电路制造有限公司【中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC) 纽约证券交易所: SMI,香港联合交易所: 0981 中芯国际官方网站网址:http://www.smics.com/ 中芯国际集成电路制造有限公司简介】的稽核认证,等待测试。

(文章来源:界面新闻)

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