中国证券报记者9月23日从万业企业(600641)获悉，继“高能离子注入机关键技术研究与样机验证”项目在去年被列入上海市2019年度“科技创新行动计划”之后，日前，公司控股子公司凯世通负责的“集成电路设备射频电源系统研发与验证”项目又进入上海市2020年度“科技创新行动计划”集成电路科技支撑专项拟立项项目名单。

　　中国证券报记者了解到，“集成电路设备射频电源系统研发与验证”项目是由凯世通研发团队深耕的关键技术，针对集成电路离子注入机对射频电源及匹配器高效、稳定可靠要求，通过优化顶层设计方案，着重解决射频电源技术瓶颈，研制适用于集成电路设备的5KW/13.56MHz射频电源系统和匹配器样机，形成射频电源系统在离子注入机等半导体装备的批量应用。

　　“科技创新行动计划”项目是由上海市科学技术委员为推进实施创新驱动发展战略，旨在加快建设具有全球影响力的科技创新中心而建设的科技项目。

　　万业企业表示，公司未来将继续加大凯世通集成电路业务的资金投入和支持强度，紧抓国产关键设备刚性需求增加的时机，加速集成电路核心设备离子注入机的多款产品商用推进。上半年，凯世通开发的设备关键部件离子注入平台已率先得到客户验收并实现销售收入，后续也将尽快完成低能大束流离子注入机设备在国内晶圆制造产线的验证工作。

　　此外，万业企业将继续深化战略转型，以“外延并购+产业整合”双轮驱动发力转型，同时通过上海半导体装备材料基金深入布局集成电路装备材料核心资产，积极开展“集成电路+投资+产业园”的“三驾马车”创新模式探索，攻坚集成电路装备材料，致力成为一家在国内外拥有一定竞争力和影响力的高科技上市公司。

（文章来源：中证网）

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